采用水平层状各向异性介质中的磁流源并矢Green函数数值模拟了倾斜线圈系随钻电磁波电阻率测井仪的电磁波传播特性。分析了采用倾斜线圈系时电压的幅值衰减和相位移,兼顾信号强度和定向方位信号敏感性两方面因素,理论上给出线圈系方位角和线圈倾角的选择方法。研究结果与现有两种国外定向随钻电磁波电阻率测井仪的参数一致,为国内定向测井仪器的研发和测井数据解释奠定理论基础。本文由张家港市泰宇机械有限公司全自动滚圆机网站采集网络资源整理!     http://www.gunyuanji168.com/ 目标定位方法-数控滚圆机滚弧机价格低电动滚圆机滚弧机多少钱MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。目标定位方法-数控滚圆机滚弧机价格低电动滚圆机滚弧机多少钱实验表明:P型掺杂浓度达到7×1019/cm3时,〈110〉晶向频率温度系数降低到-11.68×10-6/K;N型掺杂浓度达到6×1019/cm3时,〈100〉晶向谐振频率是温度的二次函数,在80℃左右频率温度系数有过零点。首次实验演示了利用低功耗加热控制结合N型重掺杂,当环境温度由30℃变化到40℃时,谐振频率温度漂移仅为1.13×10-7/℃。利用该技术可实现超高温度稳定性的谐振式传感器。虻难钍夏Ａ?决定，便于精确测定特定晶向的TCF，本文采用I2Bar谐振器作为测试结构。I2Bar谐振器的俯视图如图1(a)所示。核心谐振结构为2根直拉直压的I梁支撑2个用作为电极的Bar形成I2Bar结构。在I2Bar结构两侧制作驱动电极，通过静电驱动使I2Bar结构谐振。采用压阻检测读出谐振信号。将两个锚点间的结构电阻用作为力敏电阻，工作时电路的流向如图1(a)中箭头所示，压阻信号主要由2根I梁的直拉直压振动决定。I2Bar谐振结构的振型如图1(b)所示。采用瑞利—里兹法可求得谐振频率为图1I2Bar谐振器示意图l槡2．(1)基于式(1)设计了N型和P型谐振结构，其尺寸、解析结果与ANSYS模拟得到的谐振频率如表1所示。解析结果与ANSYS模拟结果偏差小于10%。表1N型和P型谐振结构尺寸、计算与ANSYS模拟得到的谐振频率res晶型晶向(计算值)(MHz)f0(模拟值)(MHz)N型〈100〉3203059．5564．284．02P型〈110〉31728603．554．344．122制作流程采用P型SoI硅片制作P型I2Bar谐振器，其工艺流程如下:1)采用OKMETIC的P型〈100〉BESOI硅片，顶层硅厚度为5μm，埋层氧化层厚度为2μm，顶层硅为硼重掺杂，掺杂浓度为6×1018/cm3。2)采用3次涂源预淀积和长时间再分布的方法［9］提高顶层硅掺杂浓度;每次预淀积温度为1100℃，时间目标定位方法-数控滚圆机滚弧机价格低电动滚圆机滚弧机多少钱本文由张家港市泰宇机械有限公司全自动滚圆机网站采集网络资源整理!     http://www.gunyuanji168.com/